第570章
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“你先别管我研究没演技出来，你先回答我的问题。”
“能，也不能！”
周正峰沉思了一下。
“中科院微电子研究院用聚电解质制成的聚合物电解质“肥皂泡”作为模板，用激光照射，也得到了13.5nm的极紫外光源，14nm的技术倒是很稳定了，但7nm的不稳定，成功率极差。”
“还有镜片，我们目前精度达不到，实验室倒是有几块前几年从汉斯国进口的，但只能在实验室用，所以即便我们光源达到了极紫外光源，芯片还是卡在28nm，无法量产14nm的芯片。 ”
“即便是有新的制程工艺，我们预计也会卡在7nm上，因为我们没有高精度的双工作台。”
陈诺也是有些意外，没想到国内竟然在光刻机的光源上突破了，若不是他问，估计到官宣的那一天他才知道。
“行吧，凑合用吧！”
“什么意思？”
“前几天我研究那台光刻机的时候，我发现平面结构 MOS，可以改三维结构，我称之为 FinFET ，这种结构能有效控制泄漏……
算了，一时半会说不清楚，你只需要知道，国产光刻机用这个技术能从28nm突破到14nm就行了。”
唰！
碰！
周正峰和发改委主任余杰、王福三人一下子站了起来，眼神灼灼的看着陈诺。
三人呼吸急促，声音有如封箱。
陈诺拿出智能驾驶系统三人都没有这么激动，因为即便没有智能驾驶系统，锂硫电池也不会被逼到绝路，大不了授权了。
但这个技术不一样，若是真能突破到14nm，以碳基材料的特性，比5nm的硅基芯片要强上一些，不仅能解决手机芯片问题，更能解决汽车芯片问题。
最关键的是刚刚的那款智能驾驶汽车就可以使用了。
三人一个主管半导体，一个主管国家经济发展，一个是汽车行业的老大，都跟芯片有着极大的联系，所以三人才如此的激动。
“陈、陈教授，你说的是真的？”
过了几秒钟周正峰平复了心情，沉声问道。
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