第560章

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研究的时间相当的快，当他看完操作手册后，不得不感叹光刻机制造商的牛逼，还有比制造商更牛逼的设计师们。

只是再精密，今天也难逃被他拆掉的厄运。

第一天，陈诺将内部封闭框架等给拆掉了，这样设备的作用是将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界震动干扰，并维持稳定的温度、压力。

第二天，测量台、曝光台被他弄下来了，这两个称之为双工作台系统，承载硅片的工作台。

……

第七天，能量控制系统也被他拆下来了，这个玩意控制最终照射到硅片上的能量，直接影响到芯片质量。

整整七天的时间，陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。

他对整个光刻机的组成部分了然于心，零部件啥的他可没那个闲心去研究。

每拆一个大部分，他都会对其中的一些部件、原理、远转等研究一翻。

看着眼前被拆的七零八落的光刻机，心中满是感慨。

这种级别的光刻机真如外国的专家所说，给我们全套图纸我们也是搞不出来，一是零部件的精度问题，二是组装精度问题。

这是任何一个国家或者公司能搞定的，涉及到了光学镜头、光源、轴承等等。

说AMSL是制造商，不如说他们是设计商、组装商更为恰当，只要涉及的相关光源、镜片等等有一个卡了它，他们就彻底的完蛋。

可惜在政治的意图下，这种可能性不大。

这台光刻机使用的是FD-SOI工艺，工艺在制造过程中相对简单，但是SOI基片价格稍贵。

而陈诺的FinFET工艺制造过程更为复杂，但基片价格便宜，让两者的实际制造成本相差不大。

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