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张明瑞解释着,暗自庆幸,开始找仪器,观察测量薄膜上的厚度。

“原来是这样啊!要不是你醒来的及时,我们俩就帮倒忙了啊!”

吴经理挠着后脑勺,有些不好意思,他俩的自作主张,差一点就把这件事搞砸了!好不容易努力到现在,要是真搞砸了,恐怕他俩得哭死。

“还不错,时间拿捏的刚刚好,真是多一分太多,少一分不行啊!”

张明瑞放下仪器,露出了完美的笑容。

这真的是太幸运了。

“别高兴的太早,芯片的外围总共有三次薄膜,第三次是磁控溅射。”

“通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场,和靶表面上形成的正交电磁场。”

“把二次电子束缚在靶表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。”

“原理上大概就是这样,一会儿操控的时候,你们离远一点,必要的时候给我递过来一些工具。”

“磁控溅射台操作起来,会比较危险,所以你们在旁边观看就行,保护好自己别受伤。”

张明瑞淡淡的说道,距离成功只差两步了,所以他要早点行动,提前完成进度,这个假期已经没有多长时间了。

“好!那你要小心,有什么东西需要我们拿的就吱一声。”

吴经理知道他们是爱莫能助,便将白经理拉倒一旁观看着。

张明瑞将芯片小心翼翼的转移到磁控溅射台上,拧开气阀门,将所有气体迅速放出,开腔放入基片,随即关上气阀门。

“一抽三冲,这是关键,你们好好看!”

张明瑞严肃的跟那俩人说道,随即展开一系列操作。

“所谓一抽三冲,指的就是,打开进气阀,把氧气的流量仪直接打到关闭。”

张明瑞一边说着,一边操作,没有一丝疏漏的完成了一抽三冲。

“最后一点,要切记关闭旁抽,这是很重要的。”

张明瑞说着,那两人在旁边疯狂点头。

“现在打开电磁闸,开始准备溅射。

在对一个芯片溅射之前,我们要完成预溅射。”

张明瑞开始操作,每一步都处理的非常清晰,两个人都一丝不苟的观察着,学习着。

“降低加热器衬底至标刻度19cm以下,将样品转到右靶,找到合适的位置,开始计时。”

整个实验室安静的只剩张明瑞自信有力的说话声,张明瑞一边给两人讲解,一边操作,还要腾出一只手来握着秒表。

如果这个实验只有张明瑞自己一个人来实施的话,或许进度会提高一点,但和这两位经理一起,也不是坏事,这样他研制成功后,这两人也可以模拟了。

“右靶溅射完毕,调到左靶继续溅射,步骤和刚刚都是一样的。”

张明瑞简单的说了一句就开始专心计时了。

大概过了十分钟之久,芯片完成了溅射,薄膜逐渐形成,已经肉眼可见。

“吴大哥,你过来帮我把芯片挪走,我现在要关闭一起。”

张明瑞招呼着吴经理,手一台一落,调节着频率,动作干脆利落。

“关闭仪器也很重要,从上至下,依次关闭,流量计,闸板阀,分子泵要打到关闭,大概需要十分钟。”

“当冷却时间足够时,才能依次关闭分子泵电源和电磁闸,最后一步才是总电源。”

“关闭仪器的时候,一定要小心谨慎,不能一步出错,否则很容易引起机械故障发生爆炸。”

张明瑞语重心长的说道,似乎又想起了什么往事。

搞科研的危险性,和随时面临着牺牲的精神,大概是很多人所抗拒的,这也是为什么在这个年代,搞科研的人越来越少的原因。

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